產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品分類潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC,內(nèi)部來自建筑材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設備維護修理時散發(fā)等,外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物,以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。
增強離子遷移譜氣體分析儀可提供達100 FWHM的分辨率,足以分辨異構體成分。SIMS的一大優(yōu)勢是可以使用環(huán)境大氣作為緩沖氣,這一優(yōu)勢就把使用成本減低為零。 SIMS儀器的離子遷移譜技術通過電暈放電(CD)電離源提升了靈敏度。
AMC監(jiān)測快速監(jiān)測、報警、極低濃度測量、寬測量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應等是半導體工業(yè)要求之一。
智能離子遷移譜(SIMS)一大優(yōu)勢是可以使用環(huán)境大氣作為緩沖氣,這一優(yōu)勢就把使用成本減低為零。
實時監(jiān)測氣態(tài)分子污染物AMC可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測污染物。另外,直接吸收式的檢測因其零背景的性質(zhì),可保證長期高穩(wěn)定性。DKG ONE-CF4可與其他檢測儀器,如顆粒物監(jiān)測儀等,整合在一個機柜里。