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AMC在線監(jiān)測(cè)的操作流程介紹

更新時(shí)間:2023-04-19點(diǎn)擊次數(shù):2485
  AMC空氣分析污染物監(jiān)測(cè)獵戶座 3100S 系統(tǒng): 完善的空氣分子污染(AMC)監(jiān)測(cè)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)空氣分子污染(AMC)對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程尤為重要。快速監(jiān)測(cè)、報(bào)警、極低濃度測(cè)量、寬測(cè)量區(qū)域、多氣體的高靈敏響應(yīng)等是半導(dǎo)體工業(yè)要求之一。
 
  AMC在線監(jiān)測(cè)的原理是利用空氣質(zhì)量傳感器對(duì)大氣中的微量污染物進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和分析,根據(jù)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和報(bào)警。操作流程如下:
 
  1、空氣采集:采用專業(yè)的氣采系統(tǒng)對(duì)大氣中的微量污染物進(jìn)行采集。
 
  2、傳感器監(jiān)測(cè):利用空氣質(zhì)量傳感器對(duì)采集的空氣樣品進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和分析。
 
  3、數(shù)據(jù)處理:將監(jiān)測(cè)到的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和分析,得出相關(guān)的數(shù)據(jù)結(jié)果。
 
  4、報(bào)警處理:根據(jù)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行報(bào)警,提醒企業(yè)進(jìn)行相應(yīng)的環(huán)保和安全措施。